气体质量流量控制器_范文大全

气体质量流量控制器

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范文一:MFC1000气体质量流量控制器 投稿:毛艫艬

MFC-1000 气体质量流量控制器

用户说明书

上海睿熹科技有限公司

ShangHai Wise&Choose Technology Co.,Ltd

MFC-1000气体质量流量控制器

产品特点

z 高精度气体质量流量控制器

z 取代传统的手动调节的气体控制部件即气体稳压阀、稳流阀和针形阀 z 采用独特的CMOS兼容MEMS工艺制造的气体质量流量传感器 z 气体流量数字化标定,进行温度补偿 z 快速响应时间(设定值2%范围内<0.5s)

z 输出方式灵活,采用数字化输入/输出接口(RS-232),可根据用户需求量身定做通讯模

z 具有多款符合不同用户需求的气体质量流量控制器(根据不同气体量程和控制精度)

气体流量量程:

󰂗 0~50 SSCM 󰂗 0~100 SSCM 󰂗 0~200 SSCM 󰂗 0~500 SSCM 󰂗 0~1000 SSCM

z 连接尺寸与其它的标准质量控制器兼容

产品应用

z 研究实验室的试验工场装置; z 分析仪器(气相色谱仪)、环境设备气体流量控制; z 食品的加工控制;

z 化学和石化工业的气体流量监控; z 发酵和生物技术;

z 质量控制和泄漏探测系统; z 气体混合和环境的控制; z 燃烧控制; z 半导体制造业; z 表面处理装置;

z 气体分配消费量测量; z 探测物体气体泄漏等;

主要技术指标

规格 范围: 产品型号 流量范围 性能指标: 精度 (分辨率) 准确度 重复精度 响应时间

10~100%FS <10%FS

设定流量值

±0.2 ±0.2 ±1.5 ±0.2

±0.1 ±0.1 ±1.5 ±0.2

±0.05 ±0.05 ±1.5 ±0.2

±0.1 ±0.2 ±1.5 ±0.3

±0.2 ±0.4 ±1.5 ±0.3

%F.S %F.S %F.S %F.S

MFC-1000 标准气N2

A型

B型

C型

D型

E型

SCCM

条件

数值

单位

0~~~~~1000

2%范围内

工作压差范围

100~~~~200

(在以上的精度范围内)

100~200

(在以上的精度范围内)

Kpa

耐压 标准标定气体 工作环境温度 外部泄漏率 输入电源 通讯方式

He 数字量

以氮气(N2)和自定义4种气体 5℃~45℃ 1×10-6

DC±15V(±0.5V) 500mA ■ RS-232 □ RS-485

□ RS-232(TTL电平)

模拟量

□ 0~5V □ 4mA~20mA

℃ ml/s V

引线 Sub-D8芯

注意:

z 气体质量流量控制器出厂使用氮气(N2)和用户自定义四种标准气体标定。 z 工作压差范围根据不同气体流量量程范围,要求如下(氮气):

流量量程范围

0~50 SSCM 0~100 SSCM 0~200 SSCM 0~500 SSCM 0~1000 SSCM

工作压差范围

100Kpa以上,能控制最大流量 200Kpa以上,能控制最大流量 350Kpa以上,能控制最大流量 100~200Kpa的压力范围内,可到达以上的控制精度(即分辨率)

100~200Kpa的压力范围内,可到达以上的控制精度(即分辨率)

z 标准状态规定为:

温度——25℃

气压——101Kpa

z F.S(Full Scale): 满量程

z 以上各类型的气体质量流量控制器都可通过命令字改变标定的气体类型(即N2或自定

义气体),但其流量范围将有所变化。

气体质量流量控制器(MFC)由气体流量传感器部件、流量控制部件、比例阀体部件和气体流路部件组成。其结构框图如下:

z 气体质量流量传感器技术

气体质量流量传感器是流量控制器中关键部件。是利用热传递的量热原理,测量气体质量的流量。热绝缘膜片上的加热元件,其温度始终高于周围温度。当有气体流量流过时,温度场因流体介质带走热量导致气流上、下游产生温度之变化,这种非对称性检测和执行过程都在一个CMOS硅片上完成,集成在硅片上的温度传感器对此温度分布测量,通过校准,专门的信号处理电路和气体流量数学模型的精确计算,保证气体质量流量检测的高精度和稳定性,从而替代传统的容积式和压差式的流量传感器。

z 信号处理控制原理

气体质量流量传感器信号输出已通过数据处理(包括数据线性化、温度补偿等处理), 采用闭环控制技术实现气体流量控制。闭环控制技术是一种有实测信号反馈,并根据系统输出气体流量信号变化进行控制,即通过比较输入气体流量值与输出气体流量信号之间的偏差,并消除偏差以获得预期的系统性能,至此具有自动调节功能。在反馈控制系统中,不管出于什么原因(外部扰动或系统内部变化),只要被控制量气体流量偏离规定设定值,就会产生相应的控制作用去消除偏差。因此,它具有抑制干扰的能力,对元件特性变化不敏感,并能改善系统的响应,控制精度高的特性。

z 外形及安装尺寸:

z 电气连接:

MFC-1000电气连接是使用标准Sub-D8(针型)接头,接线简单可靠。 MFC-1000 Sub-D8引脚图:

z 引脚的定义和特性 引脚号 1

引脚信号定义 未定义

电源的地线

标准RS-232(或RS-485)通讯接口的数据发送信号端 MFC-1000的电源端(-15V) MFC-1000的电源端(+15V)

特性

标准RS-232(或RS-485)通讯接口的数据接收信号端

z 电缆引线:

标准RS-232通讯接口的信号地线 MFC-1000的电源端(+15V)

至MFC端

至控制端

(PC)

󰂄 󰂄 󰂄 󰂄 󰂄

MFC端为连接至气体质量流量控制器(MFC-1000)的Sub-DP8插座;

控制端为连接至控制器(即计算机、PLC或控制器)的RS-232通讯端口上; 红色线为+15VDD电源; 黑色线为电源的地线(GND); 蓝色线为-15VDD电源。

额定规格和电气规格 z 绝对最大额定:

󰂄 工作温度 0℃~50℃

󰂄 最大工作压力 100Kpa~700Kpa 󰂄 电源电压 DC+15V±0.5V 电流500Ma

DC-15V±0.5V 电流100mA

z 电气规格: 供电电源

MFC-1000需供电电源为直流+15V±0.5V,电流为500mA;-15V±0.5V,电流为100mA。此电源需保证一定稳定性的直流电压,对气体控制精度和范围具有一定的影响。若电压过高会对其控制器的比例阀部件有一定的损坏。

通讯方式

z RS232串口通讯协议规范

项目

传送线 配线长度 数据交换方式 传送协议

3芯屏蔽电缆线 ≤3m

同步串行、全双工 点对点

协议规范

物理级传输速率字长起始位长度停止位长度奇偶校验 出错检查方式

无 无

z 数据格式

通讯中每个数据字长位10位,其格式如下:

起始位D3

D4

D5

D6

D7

停止位

起始位:1位,由一个低电平表示;

数据位(D0~D7):8位,为要发送的数据、前导字、命令字或帧结束字,按先低位后高位顺序发送;

停止位:1位,由一个高电平表示;

z 波特率

MFC-1000的数据传送的固定波特率为19200bps

z 数据链路层

数据链路层规定路协议的数据帧格式。MFC-1000和主机采用相同数据帧格式,数据帧中的每个字段使用16进制数表示,命令字为非ASCII码,前导字、地址、结束字和数据都使用标准ASCII表示。 数据帧格式如下:

前导字

地址字

命令字

数据

结束字

󰂄 前导字:为固定的字符0x24或0x23,ASCII表示“$”,表示一个帧的开始; 󰂄 地址字:单模块控制模式地址为固定0x7E;多模块控制模式地址可有用户自定义

(0x00—0x1F);

󰂄 命令字:命令字为非ASCII码,除0x0d和0x0a两种数据; 󰂄 数据:由多ASCII码数据组成的一组数据; 󰂄 结束字:为0x0d;

z 通讯命令格式

关于气体质量流量控制器的通信协议请查阅《气体电子流量、压力控制器通信协议》技术文档。

注意事项

z 禁用流量介质

使用气体必须净化,切忌粉尘、液体和油污。必要时,须在气路中加装过滤器等。 z 使用腐蚀性气体问题

控制器通道采用的材料为: 00Cr17Ni14Mo2 (相当于316L不锈钢) , 聚四氟乙烯, 氟橡胶等耐蚀材料。在用户系统无水汽、低泄漏、勤清洗、使用得当的条件下, 可以用于控制一 般的腐蚀性气体。使用氨气、有机溶剂蒸汽(如丙酮等)或其它强腐蚀性气体(如 BCl3、 BBr3 等)的用户,应在定货时声明。 z 阀口密封问题

气体质量流量控制器的电磁阀是调节阀, 不是截止阀, 不能当截止阀使用, 用户应另配截止阀。特别是用户如果使用腐蚀性气体, 通常应该在气体质量流量控制器进出气口各加一个截止阀, 以保证工作安全。长期工作后, 如果控制器阀口的漏气率在 1%F.S以内,是属于正常情况。如果漏气大于满量程的 2%, 则应进行维修。 z 安装位置问题

本气体质量流量控制器的安装时最好保持安装面水平, 但对位置并不特别敏感。 z 注意工作压差

对于气体质量流量控制器要特别注意工作介质的上、下游的气压,应注意使控制器进出气口两端的工作压差保持在指标范围之内。在高压下工作时,气压差过大,将有可能直接损坏其比例阀部件;在低压工作时,气压差过小,将无法控制到技术指标的气体流量值。 z 标定和不同气体的换算

本气体质量流量控制器出厂通常用氮气(N2)和氢气(H2)标定,可通过以上命令方式自动切换至用户所设定气体。如果要求用使用其它气体时, 需要在订货时与销售人员特别申明以于标定。

MFC-1000气体质量流量控制器的型号选型

型号

MFC-1000

流量范围 A (0~50 SSCM) B (0~100 SSCM)C (0~200 SSCM)C (0~500 SSCM)D (0~1000 SSCM)

z 关于气体质量流量控制器的应用请查阅《电子气体控制器应用》文档。

z 关于气体质量流量控制器的通信协议请查阅《气体压力流量控制器通讯协议》文档。

标定气体N2

通讯方式

R2 (RS-232) R4 (RS-485)

联系方式 公司:

上海睿熹科技有限公司

电话: 18016227427 邮箱:

shwioose@126.com

范文二:GFC气体质量流量控制器 投稿:丁蠟蠠

GFC系列热式气体质量流量控制器是用来测量显示和控制设定的流量。

GFC系列气体质量流量控制器结构紧凑,提供了精确的流量控制,是一款物美价廉的流量控制产品。

对于非腐蚀性介质可选用铝或铜的结构材质,腐蚀性介质可选用316不锈钢材质。无需打开外壳,可方便的调整零

点和满量程。

设计特点:

坚固的金属结构

最大压力1000psig(70bar)泄漏率小于1×10-7

sml/s经过NIST校准嵌入可倾斜LCD显示仪0-5VDC和4-20mA信号回路保护可作便携设备使用工程单位或者百分比显示累积器可选

操作原理:

被测气体分别流经两个层流区,一路通过主流量管道,另一路通过毛细测量管。

两个管路的设计保证流体处于层流状态,因此两个管路流量比是恒定的。

两个精密的温度感应绕组在测量管上被加热,当有流量产生时,被加热的气体从上游带走热量到下游的感应绕组上。产生温差和感应圈电阻的变化是成比例的。

测量绕组的电阻值与瞬时流量成线性比例关系,采用惠斯顿电桥来检测测量绕组的电阻变化。

根据被测气体的质量流量,输出0…5VDC或者4…20mA信号。

经过两个层流区的气体混合后流过具有特定孔径的电磁比例阀,质量流量测量与电磁比例阀组成闭环的控制系统,使流量稳定在设定的流量值上。

在一定范围内温度和压力的变化不会影响流速

概述:

GFC系列用于测量和控制气体质量流量。本品外壳坚固耐用,精确度高,是一款多功能而且经济实用的流量控制产品。

可选铝或不锈钢外壳,可选显示工程单位(标准)或百分比。

自带的电磁比例阀可以控制设定的流量,该阀是常闭阀,当意外停电时,阀门将自动关闭。设定点可以本地控制或外部给定控制。

自带置于传感器顶部的LCD显示模块,这个显示模块可倾斜90度以上以方便读数。它用一个标准的插头与传感器连接,也可以分开独立安装。OEM的应用可提供无LCD显示的产品。

GFM质量流量计的测量范围是10sccm到1000sL/min(N2);用1/4",1/8"和1/2"卡套螺纹或3/4"FNPT连接,可选其他连接方式。该仪表可以作为台式设备或者用螺丝固定在平板上。

电源电路采用保险丝和极性保护设计。

泄漏保护

氦气测试最大泄漏率为1×10-7 sml/s。

4

5

范文三:气体质量流量计和控制器 投稿:武厕厖

气体质量流量计和控制器

OMEGA FMA-A2000系列

• 精度为±1%

• 线性模拟输出

• 成本低

• 采用热感技术

• 可测量高达100 SLM的流量

• 内含电源

FMA-A2000系列电子质量流量计/控制器性能出众、 功能多样、设计先进、外形紧凑。FMA-A2000利用毛细管式热感技术直接测量气体的质量流量。无需进行温度、压力或平方根校正。FMA-A2300/2400系列配备LCD显示屏,并且所有型号都提供线性0 ~ 5 Vdc和 4 ~ 20 mA输出。 测量0 ~ 100 SLM之间24个量程的气体质 量流量。要查看完整列表,请参阅下一页的量程表。 与大部分非腐蚀性气体相容。建议用户对照气体相容性检查接液材料。

OMEGA的质量流量控制器利用内部电磁比例阀控制质量流量。可以通过内部电位器设定值或者通过0 ~ 5 Vdc外部源 提供指令信号。

规格:

精度: 满量程的±1%(包括线性度)

重复性: 满量程的±0.15%或者更佳

量程比: 100:1

响应时间: 5秒

气体环境温度: 0 ~ 50°C (32 ~ 122°F)

温度系数: 每1°C为满量程的0.05%或更佳

压力系数: 每psi为满量程的0.01%或更佳

最低压力要求:

流量计: 1英寸水柱

最大流速为1 SLM的控制器: 1 psi

流速大于20 SLM的控制器: 20 psi

质量流量控制器的压差: <5 LPM,5 ~ 50 psi(标准)

>5 LPM,20 ~ 40 psi(标准)

气体最大压力:

聚甲醛: 250 psig

316不锈钢: 500 psig

泄漏完整性: 1 x10-6 cc/min氦气或更佳

接液部件:

标配: 聚甲醛、氟橡胶O形圈

选配: 316不锈钢、氟橡胶O形圈

连接口: ¼ FNPT(标配);

¼"压合接头(适用于所有不锈钢型号流量计)

输入/输出连接口: 9针sub-D连接器

控制信号: 0 ~ 5 Vdc

控制阀: 常闭电磁阀

输出信号: 线性0 ~ 5 Vdc(最小负载1000 Ω),4 ~ 20 mA(环路电阻500 Ω) 安装螺纹:

316不锈钢壳体: 6⁄32"螺纹

聚甲醛材料: #4/6自攻螺丝

输入电源:

流量计: 24 Vdc @ 150 mA、115 Vac和220 Vac(带交流适配器)

控制器: 24 Vdc @ 300 mA、115 Vac和220 Vac(带交流适配器)

外形尺寸: 参见图纸

重量: 1.25 kg (2.75 lb)(含电源)

范文四:经济型气体质量流量控制器和流量计 投稿:范贾贿

经济型气体质量流量控制器和流量计

OMEGA FMA3100系列

• 可测量最大流速为10 SLM

• 0 ~ 5 Vdc线性输出

• 具成本效益

FMA3100系列质量流量传感器代表着质量流量传感器技术领域的突破。先进的电子器件、紧凑的机械设计以及批量生产加工理念在这一高性能、低成本的产品中集中体现。气体流量传感器适合多种OEM应用。0 ~ 5 Vdc线性输出作为标准输出信号。

FMA3200质量流量控制器外形小巧,它利用基本的FMA3100热式质量流量传感器提供精确、稳定的气体流量控制。在断电模式下,流量控制阀关闭,同时泄漏率最低。这种具成本效益的控制器是众多OEM应用的理想之选,它提供0 ~ 5 Vdc线性输出并接收0 ~ 5 Vdc的控制输入。

FMA3300在FMA3100流量计功能的基础上增加了一个可调节3位半数字LCD数字显示仪表,用于查看以工程单位(即mL/min或L/min)显示的流量。已经证实,这些紧凑型流量计在很多实验室应用中效果显著。

规格:

输出: 0 ~ 5 Vdc(最小值2500 Ω)

输入设定电压

(仅FMA3200): 0 ~ 5 Vdc

精度: 满量程的±1.5%*

重复性: 满量程的±0.5%

响应时间: 在满量程的25 ~ 100%范围大约2秒(常规)达到设定流速的±2%内

工作环境: 10 ~ 50°C (50 ~ 122°F),无冷凝空气

工作压力范围: 25°C (77°F)时达到最大值150 psi

温度系数: 每°C为±0.2%

压力系数: 每psi为±0.02%

泄漏完整性: 对于外界环境,最大值为1x10-4SCCS氦气

输入电源:

FMA3100和FMA3300: 12 ~ 15 Vdc,100 mA (1.5 W)

FMA3200: 12 ~ 15 Vdc,250 mA (3.75 W)

连接口: 流速达到1 L/min时,采用⅛"压合接头;流速达到5 L/min时,采用¼" 压合接头;流速达到10 L/min时,采用⅜"压合接头

接液材质: 阳极氧化铝、氟橡胶O形圈、304和316不锈钢、环氧树脂、乙缩醛压合管接头(标配)

量程比: 10:1

气体: 大部分洁净、干燥气体(例如,空气、氮气、二氧化碳、氩气、氢气、氦气、甲烷、氧气)

过滤:如果气体中含有任何颗粒物质,需要使用20微米过滤器

规格(FMA3200流量控制器)

压差: 15 ~ 40 psi

阀门工作寿命: >1百万次循环;阀门处于常闭状态

阀门处的泄漏率: 0.2 SCCM或低于满量程的2%,以较大值为准 控制量程: 50:1

远程设定电压: 0 ~ 5 Vdc

重量:

FMA3100: 199 g (0.44 lb)

FMA3300: 249 g (0.55 lb)

FMA3200: 386 g (0.85 lb)

不带接头的尺寸(近似值):

FMA3100: 47(长)x 26(宽)x 90 mm(高)(1.87 x 1.03 x 3.55") FMA3300: 47(长)x 26(宽)x 127 mm(高)(1.87 x 1.03 x 5.0") FMA3200: 81(长)x 26(宽)x 97 mm(高)(3.17 x 1.03 x 3.80")

范文五:气体质量流量控制器和流量计工作原理 投稿:严硉硊

气体质量流量控制器和流量计工作原理

流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度和压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大,放大后的流量测量电压与设定电压进行比较,再将差值信号放大后去控制调节阀,通过闭环控制来控制通过的流量,并使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。左图为MFC和流量显示仪连接后的工作原理图:

(将该地址复制粘贴到网叶地

址栏里)

控制器输出的流量检测到的电压与流过通道的气体质量成正比。满量程检测输出电压为5VDC。气体质量流量控制器的检测范围为2~100%满刻度(量程比为50:1),流量分辨率为0.1%满刻度。

注意: 气体质量流量控制器的“阀控”线置于“清洗”位时也可以当成气体质量流量计使用。这时,流量检测输出电压的输出值可能达到10VDC以上。需要注意的是,一旦输出电压超过5VDC,流量检测电压和实际通过的流量不成线性对应关系。清洗时,流量显示是不准确的,而且还可能出现流量增大、显示减小的现象,但这些不会损坏质量流量控制器。

2、气体质量流量计和气体质量流量控制器结构

(将该地址复制粘贴到网叶地址栏里)

气体质量流量计含流量传感器、分流器通道和流量放大、线性化及温度补偿电路组成。增加电磁阀和PID控制电路就构成了流量控制器。

3、气体质量流量控制器和气体质量流量计的应用范围

MFC和MFM可广泛地应用于石油化工、半导体和集成电路、特种材料学科、医药、环保和真空等多种领域的科学研究和生产中,其典型应用有:电子工艺设备,如氧化、CVD、扩散、外延、等离子蚀刻、离子注入和溅射,以及微反应装置、配气和混气系统、镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪以及其它分析仪器。

应用对象:质量流量控制器应用系统集成商、特殊气体厂商、真空元件供应商、真空系统集成商、特殊气体厂商、真空元件供应商、真空系统集成商、电池系统集成商、生化系统集成商、气体装配流水线集成商、大学实验室、气体公司、研

范文六:气体质量流量控制器和流量计工作原理 投稿:赵顠顡

1、气体质量流量控制器和流量计工作原理

流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度和压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大,放大后的流量测量电压与设定电压进行比较,再将差值信号放大后去控制调节阀,通过闭环控制来控制通过的流量,并使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。左图为MFC和流量显示仪连接后的工作原理图:

(将该地址复制粘贴到网

叶地址栏里)

控制器输出的流量检测到的电压与流过通道的气体质量成正比。满量程检测输出电压为5VDC。气体质量流量控制器的检测范围为2~100%满刻度(量程比为50:1),流量分辨率为0.1%满刻度。

注意: 气体质量流量控制器的“阀控”线置于“清洗”位时也可以当成气体质量流量计使用。这时,流量检测输出电压的输出值可能达到10VDC以上。需要注意的是,一旦输出电压超过5VDC,流量检测电压和实际通过的流量不成线性对应关系。清洗时,流量显示是不准确的,而且还可能出现流量增大、显示减小的现象,但这些不会损坏质量流量控制器。

2、气体质量流量计和气体质量流量控制器结构

(将该地址复制粘贴到网叶地址栏里)

气体质量流量计含流量传感器、分流器通道和流量放大、线性化及温度补偿电路组成。增加电磁阀和PID控制电路就构成了流量控制器。

3、气体质量流量控制器和气体质量流量计的应用范围

MFC和MFM可广泛地应用于石油化工、半导体和集成电路、特种材料学科、医药、环保和真空等多种领域的科学研究和生产中,其典型应用有:电子工艺设备,如氧化、CVD、扩散、外延、等离子蚀刻、离子注入和溅射,以及微反应装置、配气和混气系统、镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪以及其它分析仪器。

应用对象:质量流量控制器应用系统集成商、特殊气体厂商、真空元件供应商、真空系统集成商、特殊气体厂商、真空元件供应商、真空系统集成商、电池系统集成商、生化系统集成商、气体装配流水线集成商、大学实验室、气体公司、研发

范文七:经济型气体质量流量控制器和流量计适用于洁净气体 投稿:洪側偵

经济型气体质量流量控制器和流量计适用于洁净气体

OMEGA FMA3100系列

• 可测量最大流速为10 SLM

• 0 ~ 5 Vdc线性输出

• 具成本效益

系列质量流量传感器代表着质量流量传感器技术领域的突破。先进的电子器件、紧凑的机械设计以及批量生产加工理念在这一高性能、低成本的产品中集中体现。气体流量传感器适合多种OEM应用。0 ~ 5 Vdc线性输出作为标准输出信号。

FMA3200质量流量控制器外形小巧,它利用基本的FMA3100热式质量流量传感器提供精确、稳定的气体流量控制。在断电模式下,流量控制阀关闭,同时泄漏率最低。这种具成本效益的控制器是众多OEM应用的理想之选,它提供0 ~ 5 Vdc线性输出并接收0 ~ 5 Vdc的控制输入。

FMA3300在FMA3100流量计功能的基础上增加了一个可调节3位半数字LCD数字显示仪表,用于查看以工程单位(即mL/min或L/min)显示的流量。已经证实,这些紧凑型流量计在很多实验室应用中效果显著。

规格:

输出: 0 ~ 5 Vdc(最小值2500 Ω)

输入设定电压

(仅FMA3200): 0 ~ 5 Vdc

精度: 满量程的±1.5%*

重复性: 满量程的±0.5%

响应时间: 在满量程的25 ~ 100%范围大约2秒(常规)达到设定流速的±2%内 工作环境: 10 ~ 50°C (50 ~ 122°F),无冷凝空气

工作压力范围: 25°C (77°F)时达到最大值150 psi

温度系数: 每°C为±0.2%

压力系数: 每psi为±0.02%

泄漏完整性: 对于外界环境,最大值为1x10-4SCCS氦气

输入电源:

FMA3100和FMA3300: 12 ~ 15 Vdc,100 mA (1.5 W)

FMA3200: 12 ~ 15 Vdc,250 mA (3.75 W)

连接口: 流速达到1 L/min时,采用⅛"压合接头;流速达到5 L/min时,采用¼" 压合接头;流速达到10 L/min时,采用⅜"压合接头

接液材质: 阳极氧化铝、氟橡胶O形圈、304和316不锈钢、环氧树脂、乙缩醛压合管接头(标配)

量程比: 10:1

气体: 大部分洁净、干燥气体(例如,空气、氮气、二氧化碳、氩气、氢气、氦气、甲烷、

氧气)

过滤:如果气体中含有任何颗粒物质,需要使用20微米过滤器 规格(FMA3200流量控制器)

压差: 15 ~ 40 psi

阀门工作寿命: >1百万次循环;阀门处于常闭状态

阀门处的泄漏率: 0.2 SCCM或低于满量程的2%,以较大值为准 控制量程: 50:1

远程设定电压: 0 ~ 5 Vdc

重量:

FMA3100: 199 g (0.44 lb)

FMA3300: 249 g (0.55 lb)

FMA3200: 386 g (0.85 lb)

不带接头的尺寸(近似值):

FMA3100: 47(长)x 26(宽)x 90 mm(高)(1.87 x 1.03 x 3.55") FMA3300: 47(长)x 26(宽)x 127 mm(高)(1.87 x 1.03 x 5.0") FMA3200: 81(长)x 26(宽)x 97 mm(高)(3.17 x 1.03 x 3.80")

范文八:气体质量与体积流量控制器 投稿:阎剔剕

气体质量与体积流量控制器

OMEGA FMA-2600A 系列

• 20多种气体校准,包括氦气、氧气、氖气、一氧化二氮、氮气、大气、氩气、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、乙烷、氢气、丙烷、丁烷、异丁烷、乙烯、乙炔、氪气、氙气、六氟化硫

• 同时显示压力、温度、体积以及质量流量 简单易用的按钮界面 NIST 可溯源性标准 满量程范围:0.5 SCCM ~ 1500 SLM 常规响应时间:50 ~ 100 毫秒 常规量程比:100:1 位置不敏感 ±0.8%读数精度 标配RS232

FMA-2600A系列质量与体积流量控制器在层流场中使用差压原则来确定和控制质量流速。流量计中的层流元件(LFE)迫使气体进入层流。泊肃叶方程规定, 在这一区域体积流速与压力下降呈线性关系。使用压差传感器衡量LFE固定距离中的压力下降情况。同时结合气体的粘度准确判定体积流速。引入单独的绝对温度和压力传感器,并根据一系列标准条件纠正气体流速。这种标准流速俗称质量流速,并使用每分钟标准立方英尺(SCFM)或每分钟标准升(SLM)等单位表示。 该控制器采用连接到流体的真正比例阀,通过一体化PID回路控制器控制流体。标准设备包括0 ~ 5 V输出(可选4 ~ 20 mA)和RS232通讯。可通过前面板键盘或RS232通讯调整气体选择功能和设定值。体积 流量、质量流量、绝对压力以及温度均可以通过RS232连接查看或记录。同时,在距离为46 m (150')的同一串口连接上,最多可与26台设备进行多点通讯。

规格:

精度: ±(读数的0.8% + 满量程的0.2%)

重复性: 满量程的±0.2%

量程比: 100:1

控制响应时间: 100 ms

输入控制信号: 0 ~ 5 Vdc, RS232

输出信号: 0 ~ 5 Vdc, RS232

可选输入/输出: 4 ~ 20 mA, 0 ~ 10 Vdc

工作温度: 10 ~ 50°C (14 ~ 50.00°C)

零点偏移: 满量程的0.02%/°C

量程偏移: 满量程的0.02%/°C

湿度量程: 0 ~ 100% RH,无冷凝

附加流速: 满量程的2.4%

接液材质:303和302不锈钢、氟橡胶、硅酮RTV(橡胶)、玻璃强化型尼龙、铝、铜、410不锈钢、硅酮、玻璃;>250 SLM:416不锈钢和镍替换铜 最大压力

质量流量控制器: 145 psig

使用体积模式: 使用体积模式:近大气,建议最大15 psig。

体积流量计和控制器不保证超出流量计额定流量范围的质量流速的准确性。这些值仅适用于近大气压力条件。建议最大工作压力为15 psig

额定最小压差: 5 SLM 及以下: 5 psid; 10 ~ 250 SLM: 15 psid; 500 SLM: 5 psid; 1500 SLM: 10 psid

电源电流: 20 SLM及以下0.250 A;50 SLM及以上0.75 A(常规)

电源电压: 20 SLM及更小的设备12 ~ 30 Vdc;50 SLM及更大的设备24 ~ 30

Vdc

电气连接: 8针圆形迷你DIN

范文九:经济型气体质量流量控制器 投稿:雷尜尝

经济型气体质量流量控制器 OMEGA FMA5400, FMA5500 系列 • N IS T 可溯源校准 • 无需温度 或压力 补偿, 即可读 取和控 制气体 质量流 量 • 可选经济 实惠的 铝质结 构和耐 腐蚀的 316 不 锈钢结 构 • LC D 显示屏角度可调 ,方便 读数 FMA5400/5500 系列电子气体质量流量控制器可控制流速在 10 SCCM 到 1000 SLM 范围内的多种气体的流量。FMA5400/5500 利用通过加热管进行的热传递直接测 量气体质量流量, 并且无需对 (规定限值以内) 的气体温度或压力变动进行补偿。 该产品提供用于测量普通气体流量的经济型铝质/铜质结构, 以及用于有更高耐 腐蚀要求应用场合的 316 不锈钢结构。 不带一体式显示屏的 FMA5400 系列控制器 具有 0 ~ 5 Vdc 和 4 ~ 20 mA 模拟输出,以便进行远程监测;FMA5500 系列控制 器兼具一体式 3½位数字显示屏和模拟输出。显示屏可倾斜 90 度,查看读数时很 方便,显示屏还经过校准,可直接显示以 SCCM 或 SLM 为单位的氮气流速,可以 通过专门订购来获得其它气体校准。 FMA5400/5500 质量流量控制器带有内置式电磁阀,无论入口或出口压力如何变 化,都能保持稳定的流速。设定值可通过电位器(通过壳体上的窗口可调整该电 位器)本地控制,或者可以通过 0 ~ 5 Vdc 或 4 ~ 20 mA(现场可选)模拟信号 远程控制。 FMA5400/5500 系列控制器需要使用 12 ~ 15 Vdc 电源(最大电流 800 mA), FMA545PW 壁装插接式插座电源可满足其要求, 24 Vdc 电源输入 (最大电流 650 mA) 可作为选件提供。电子装置具备反向极性保护,并配有自恢复保险丝。型号 FMA545C (单独提供)提供了一个带 2.4 m (8')屏蔽电缆的插接式 15 针"D"连 接器,可用于模拟输出信号和电源输入连接。FMA5500 系列控制器的 LCD 通过模 块化插头与里面的电子设备相连。 通过购买 FMA18RC 远程电缆组件可以远程安装 LCD,但是,您必须自行制作面板安装组件以便进行 LCD 的面板安装。 规格: 精度: 满量程的±1.5%,包括在 15 ~ 25°C (59 ~ 77°F)以及 0.7 ~ 4.2 kg/cm2 (10 ~ 60 psia)范围内的线性度;对于流量 =100 SLM 的控制器,在 0 ~ 20%量 程范围内精度为满量程的±3% 重复性: 满量程的±0.5% 温度系数: 满量程的 0.15%/°C 压力系数: 每 psi (0.07 bar)为满量程的 0.01% 最大压降: 50 psid 响应时间:在满量程的 25 ~ 100%范围大约 5 秒达到设定流速的±2%内 最大气体压力: 35 kg/cm2 表压(500 psig); 1.76 kg/cm2 (25 psig)最适宜 气体和环境温度: 5 ~ 50°C (41 ~ 122°F) 泄漏完整性: 对于外界环境,最大泄漏为 1 x 10-7 cc/sec 氦气 接液材质:

铝质型号: 阳极氧化铝、316 不锈钢、铜和氟橡胶 O 形圈 不锈钢型号: 316 不锈钢和氟橡胶 O 形圈 输出信号: 线性 0 ~ 5 Vdc: 最小负载 1000 V 4 ~ 20 mA: 环路电阻为 50 ~ 500 V,最大噪声±20 mV 传感器电源: 12 Vdc @ 800 mA (标配); 24 Vdc @ 650 mA(可选) 量程比: 50:1 运输重量: 1.8 kg (4 lb) 顺从标准: EN55011 1 类,B 类;EN50082-1

范文十:美国OMEGA气体质量流量计和控制器规格 投稿:武膭膮

气体质量流量计和控制器

可选配一体式显示屏,用于测量洁净气体

FMA-A2000系列

U 精度为±1%U 线性模拟输出U 成本低

U 采用热感技术

U 可测量高达100 SLM的流量U 内含电源

带显示屏的FMA-A2417,图片小于实际尺寸。

FMA-A2000系列电子质量流量计/控制器性能出众、 功能多样、设计先进、外形紧凑。FMA-A2000利用毛细管式热感技术直接测量气体的质量流量。无需进行温度、压力或平方根校正。FMA-A2300/2400系列配备LCD显示屏,并且所有型号都提供线性0 ~ 5 Vdc和 4 ~ 20 mA输出。

FMA-A2000测量0 ~ 100 SLM之间24个量程的气体质 量流量。要查看完整列表,请参阅下一页的量程表。 FMA-A2000系列与大部分非腐蚀性气体相容。建议用户对照气体相容性检查接液材料。

OMEGA的质量流量控制器利用内部电磁比例阀控制质量流量。可以通过内部电位器设定值或者通过0 ~ 5 Vdc外部源 提供指令信号。

不带显示屏的FMA-A2117,图片小于

实际尺寸。

D-19

规格

量程表

精度:满量程的±

1%(包括线性度)重复性:满量程的±0.15%或者更佳量程比:100:1响应时间:5秒气体环境温度:

0 ~ 50°C (32 ~ 122°F)温度系数:

每1°C为满量程的0.05%或更佳压力系数:

每psi为满量程的0.01%或更佳最低压力要求:

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